Genellikle kaba filtrasyonun ardından uygulanır, özellikle partikül çapı 1-10 µm aralığında olan kirleticilerin filtrelenmesinde kullanılır. Hassas filtrasyon, havadaki daha küçük partiküller, tozlar, bakteriler, virüsler ve diğer zararlı maddeleri tutarak havayı daha temiz hale getirir.